氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過(guò)濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3 安裝位置問(wèn)題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移，可以調整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問(wèn)題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體，通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。

氣體質(zhì)量流量控制器顯示方式有哪些

1、 分體二次數顯儀表。采用按鍵式的操作方式，測量的精度高，多款外形尺寸可選，雙四位的LED顯示，支持電流、電壓的輸入方式，可帶多個(gè)控制點(diǎn)、多窗口顯示，適用于流量等過(guò)程量的監測，是一款非常高的產(chǎn)品。   

2、 本體觸摸按鍵顯示。在流量計本體即可進(jìn)行流量大小的調節與顯示，除了具有精度等級高，線(xiàn)性精度好以外，操作簡(jiǎn)單、便攜也是本產(chǎn)品的一大主要特點(diǎn)。  

3、 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動(dòng)，人機界面，具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機交互方式,用戶(hù)只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來(lái)了很大的方便。